STI3000
Test Head for Wafer-Level Probe MEMS Test System
ウェハー・レベルのダイナミックプロービング試験を提供。
STI3000は、STI9000と組み合わせるウェハーテストヘッドモジュールで、ウェハー・レベルの静電容量型ジャイロ、加速度センサ、圧力センサ、マイクロホン、リゾネータ等のダイナミックプロービング試験機能を提供します。
このダイナミックプロービング試験は、リーク、キャパシタンス測定に加え、Drive Sense Technology(DST)により、共振周波数、ダンピングファクタ、Q値、スティクション、ヒステリシス、f-3db周波数などの各種パラメータの測定が可能となっています。（米国Solidus Technologies社製）
| STI3000 主なテストリソース |
| ■ 8 STI Drive Sense Technologies Resources ■ 8 Parametric Measurement Units ■ 8 Digitizer ■ 8 Direct Digital Synthesis Resources ■ 4 Capacitance Measurement Resources ■ I2C Communications Bus |
| STI3000 仕様 |
| ■ 9” Diameter Round Test Head ■ 70-Pin Ring Insert Probe Card ■ ケーブルセット ■ 各種プローバに対応 |
【ウェハーテストの実例】
